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北京创世威纳科技有限公司

普通会员5
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:北京 北京
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手机号码:13146848685
公司官网:www.weinaworld.com.cn
企业地址:北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层
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企业概况

北京创世威纳科技有限公司成立于2008年,现位于北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层,拥有1800余平方米的组装、调试车间、办公区,现在我们更专注于真空等离子体技术,成为集研发、设计、生产、销售于一体的设备制造商。公司通过了ISO质量管理体系认证,获批高新技术企业,拥有4项发明专利......

大样片离子束刻蚀机-北京创世威纳-大样片离子束刻蚀机安装

产品编号:1000000000001265530                    更新时间:2020-12-18
价格: 来电议定
北京创世威纳科技有限公司

北京创世威纳科技有限公司

  • 主营业务:磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE
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产品详情






离子束刻蚀机

离子束加工的应用范围正在日益扩大,大样片离子束刻蚀机,不断创新。

目前用于改变零件尺寸和表面物理力学性能的离子束加工工艺主要有用于从工件上作去除加工的离子刻蚀加工、用于给工件表面添加的溅射镀膜和离子镀膜加工以及用于表面改性的离子注入加工。

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离子束刻蚀机

石英晶体谐振器制作

石英晶体的谐振频率与其厚度有关。用机械研磨和抛光致薄的晶体,可制作低频器件,但频率超过20MHz时,大样片离子束刻蚀机安装, 上述工艺已不适用因为极薄的晶片已不能承受机械应力。采用离子束抛光,可以不受此限制。石英晶体谐振器的金属引线要求重量轻、低电阻,通常用铝沉积在晶体表面沟槽中,以高电导率铝作引线电极。用离子束溅射加工晶体_上的沟槽是有效的方法。










离子束刻蚀

离子束刻蚀以离子束为刻蚀手段达到刻蚀目的的技术,大样片离子束刻蚀机多少钱,其分辨率限制于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范围。离子束较小直径约10nm,离子束刻蚀的结构较小可能不会小于10nm。目前聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,较以较快的直写速度进行小于50nm的刻蚀,故而聚焦离子束刻蚀是纳米加工的一种理想方法。此外聚焦离子束技术的另一优点是在计算机控制下的无掩膜注入,甚至无显影刻蚀,直接制造各种纳米器件结构。但是,在离子束加工过程中,损伤问题比较突出,且离子束加工精度还不容易控制,控制精度也不够高。

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