净化车间
十万级净化车间要求
一、尘粒
尘粒是**、病毒的良好载体，所以十万级净化车间工程的首要任务便是"除尘"。
1.在十万级净化车间中，尘粒允许数≥0.5微米的粒子数不允许超过350万个；
2.≥5微米的粒子数不可以超过2万个。
二．微生物
1.微生物跟尘粒一样，金华洁净车间，也有允许数。要求浮游菌数不超过500个/m3；
2.沉降菌数不超过10个/培养皿。
压差
这里根据洁净度等级分2种情况：
1.相同洁净度等级的洁净室，压差需要保持一致；
2.不同洁净等级的洁净室，相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（这里主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。
四．技术参数
换气次数、压差、温度、相对湿度、噪声以及新风补充量在十万级净化车间工程中非常重要，每一项都有其要求的数值：
1.换气次数：10-15次/小时；
2.压差：主车间相对相邻房间≥5pa；
3.温度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；
4.相对湿度：45-65%（RH）；
5.噪声≤65dB（A）；
6.新风补充量：总送风量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
五．材料要求
在车间里面，不同的地方需要用不同的材料以保证能达到十万级净化车间的标准。
1.墙和顶板：采用50mm厚的夹心彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造；
2.门和窗：采用净化密闭门和铝合金玻璃固定窗；
3.地面：采用环氧自流平或耐磨塑料洁净地板；
4.净化通风管道：采用镀锌薄钢板制作和"PEF"阻燃型的保温板做保温。
净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确立，在考虑到加工工艺的规范下，甄选理应充分考虑（cider)人的舒适感。随着着汽体洁净室等级要求的提高，加工工艺对温湿度的要求也越来越高，净化车间尽量保证一定的温湿度级別。例如在规模化集成电路芯片芯片生产生产制造(Produce)的光刻技术**（exure)加工工艺中，作为掩膜板原料的夹丝玻璃与硅(silicon)片的热形变(inflate)指数值的差要求越来越小。
压力差下从间隙漏泄掉的风量。因此压力差的物理意义便是漏泄（或渗入（O**osis)）风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。
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