半导体百级净化工程-百级净化工程-谷能净化科技(查看)

1）手提式压力蒸汽灭菌器灭菌方法：

①在主体内加入适量的清水，将灭菌物品放入灭菌器内；

②将顶盖上的排气软管插入内壁的方管中，包装百级净化工程，盖好并拧紧顶盖；

③将灭菌器的热源打开，开启排气阀排完空气后(约在水沸腾后10min～15min)关闭排气阀；

④压力升至102.9kPa(1.05kg/cm2)，温度达121℃时，维持到规定时间(根据物品性质及有关情况确定，一般20min～30min)；

⑤需要干燥的物品，打开排气阀，慢慢放汽，待压力**到零位后开盖取物；

⑥液体类物品，待压力**到零位，自然冷却到60℃以下，再开盖取物。

（1）净化工程灭菌原理：利用机械抽真空的方法，使灭菌柜室内形成负压，蒸汽得以迅速穿透到物品内部进行灭菌。蒸汽压力达205.8kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃或以上，开始灭菌，机械加工百级净化工程，到达灭菌时间后，抽真空使灭菌物品迅速干燥。根据一次性或多次抽真空的不同，百级净化工程，分为预真空和脉动真空二种，后者因多次抽真空，空气排除更彻底，效果更可靠。

（2）灭菌方法：

1）预真空压力蒸汽灭菌方法：预真空压力蒸汽灭菌整个过程约需25min。

①将待灭菌的物品放入灭菌柜内，关好柜门；

②将蒸汽通入夹层，使压力达107.8kPa(1.1kg/cm2)，预热4min；

③启动真空泵，抽除柜室内空气使压力达2.0 kPa～2.7 kPa(排除柜室内空气98%左右)；

④停止抽气，向柜室内输入饱和蒸汽，使柜内压力达205.8 kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃，维持灭菌时间4min；

⑤停止输入蒸汽，再次抽真空使压力达8.0kPa，使灭菌物品迅速干燥；

⑥通入过滤后的洁净干燥空气，半导体百级净化工程，使灭菌室压力回复为零，温度降至60℃以下，即可开门取出物品。

人净区内各功能房间应顺人净路线为：非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。

洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。

这种压差建立基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来维持正压。通过洁净室的送入风量与排风量+压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差。

对全新风空气系统：新风量=排风量+压差风量

对循环空气系统：新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量

归根到底洁净室压差，即新风量=排风量+压差风量，它们之间平衡关系建立。

总之，设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节，通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解，从而可以完善设计方案，规范施工操作，避免以上问题的出现。调试工作是保证洁净室室内压差和洁净度是否达标的重要和必要环节。系统正常运行则属于正常的使用生产环节。