电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热小，影响稳定性甚微，而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。
电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，家电线性位移传感器，承受高压力，线性位移传感器厂，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。
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电容式震动传感器可以非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等，当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量小，因而可测较低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能感应0.01μm甚至更小的位移，由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。
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振动位移传感器有较低的工作频率，可以适用于低转速的旋转机器，在设计中取消了有摩擦的活动元件，因此灵活性好，可以测量微小的振动，有一定的抗横向振动能力。
振动位移传感器两线制回路供电振动变送器，一体化设计，将振动传感器和4-20mA振动变送器集成在一个不锈钢壳体内，可将现场设备振动信号直接转化成标准4-20mA电流信号远传DCS、PLC等数据采集系统，广泛用于工业现场大型旋转设备，如一次风机、引风机、电机等的瓦壳振动位移（UM）监测。
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