净化车间门槛部位又须根据运输与人行等不同要求作特殊构造处理。一捏单扇平开净化车间门的四边缝隙中倒有三边需作不同的处理,而且双扇净化车间门的中缝也是特殊构造。所以在净化车间门的设计中对于活动缝隙的密封处理是更为突出的问题。开启扇与框料相互搭接的槽口尺寸与槽口形式问题,是活动缝隙密封设计小必须注意的重要问题。村局、框、五金、密闭条及其作用方式等四个方面因素要综合考虑,使它们在构造亡和受力状态上相互协调,达到密封的目的。应该特别指出,净化车间门扇比窗扇大而且重,密封压紧时施力要大得多,特别平时总在不断启闭旋转,故还须从控制净化车间门扇下垂和保证净化车间门扇刚度等方面来着重考虑五金选用问题。
顶板
板材采用三明治式结构:两面为彩钢板,烤漆,钢板厚度是0.5毫米;中间为高密度的绝缘的隔热夹芯,该型号顶板可供选择的夹芯材料有岩棉,纸蜂窝,铝蜂窝等材质,为了增强顶板强度,可在彩钢板内加入石膏或玻镁板,人员可以在上面行走,工厂洁净车间加工,进行各种维护工作。承重在100公斤以上。
板与板之间是内置式铝龙骨或PVC方管连接的,形成一连续自支承结构的墙。两块板之间的接缝处用硅胶密封处理。顶板用M-8螺纹钢筋和支架固定在建筑顶上。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,工厂洁净车间工程报价,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,工厂洁净车间,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
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