压电叠堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用单片压电陶瓷电场作用下的直接伸长变形，再通过多层叠加使总的变形达到一个较大的数值。压电比列阀的工作原理：压电比例阀利用压电原件与半导体传感器，通过对电气比例信号的调节，可高精度，高响应、无噪音的对气体的压力与流量进行无级控制。由于在影响压电叠堆位移精度的特性中，滞环特性对其影响，对压电叠堆( Tokin AE0505D16)不同路径的加压过程进行大量数据的实测分析，了解在0~+100V这一区间内的滞环特性。
阀腔体和阀芯要求加工精度很高，圆度、不同圆柱面的同轴度，因为阀芯与阀体的配合既要保证很好地密封性能又要保证摩擦力比较低压电体受到外机械力作用而发生电极化，半导体分选机比例阀，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应.压电陶瓷具有自发极化的性质， 而自发极化可以在外电场的作用下发生转变。当给具有压电性的电介质加上外电场时会发生如图所示的变化， 压电陶瓷会有变形。
具有正压电效应的固体，也必定具有逆压电效应，反之亦然. 正压电效应和逆压电效应总称为压电效应。压电叠堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用单片压电陶瓷电场作用下的直接伸长变形，再通过多层叠加使总的变形达到一个较大的数值。压电体受到外电场作用而发生形变，其形变量与外电场强度成正比，这种现象称为逆压电效应.
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