真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，sv630真空泵维修，需要预真空。有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，莱宝真空泵维修，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，吸附真空泵维修，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
在使用莱宝真空泵过程中可能会出现轴裂的现象，这是因为真空泵的使用条件决定其运行过程中受力不一致，这就造成了轴与叶轮配合的部分发生磨损，扩大了轴与叶轮的间隙，随着叶轮在轴上窜动，间隙会越来越大，受力也越来不均匀，因此轴裂的间隙更大了。而且当叶轮在轴上不断窜动时，真空泵维修，叶轮会一次又一次的和两侧泵盖碰撞磨损，这也会造成叶轮与泵盖间的间隙变大，甚至会使机泵失效而失去作用。
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