诚薄机对晶片诚薄的必要性及作用?
诚薄机对晶片诚薄的必要性及作用?
根据制造工艺的要求来讲,目前对晶片的尺寸、几何精度、表面洁净度以及表面微晶结构提出了较高的要求,因此,在制造工艺的过程中减薄机对晶片减薄是相对不可缺少的一部分。那么,关于晶片减薄的必要性及作用具体体现哪些方面呢?
1.提高芯片的散热性能要求
在集成电路中,由于硅基体材料及互联金属层存在电阻,在电流的作用下,芯片要产生的发热现象。而在芯片工作的过程中,由于部分热量的产生,使得芯片背面产生内应力。芯片热量逐渐升高,基体层之间的热差异性加剧,这无疑加大了芯片的内应力。较大的内应力使芯片生产,这是芯片损坏的主要原因之一。因此,只有通过减薄机对晶片背面进行减薄,才可以降低芯片热阻,有效提高芯片的散热性能,从而降低了芯片破损的风险,提高了集成电路的可靠性。2.集成电路制造工艺要求
通过对晶片减薄工艺后,使其更加有利芯片分离,在一定程度上提高了划片的质量以及成品率。在许多集成电路制造领域内,大家对集成电路芯片超薄化的要求是越来越高,要想得到高质量的超薄芯片,我们就必须通过晶片减薄工艺的方式从而获取。
通过以上两点可以得出,只有通过减薄机对晶片减薄,才能更好的保证芯片的厚度及尺寸等方面的要求,减薄机报价,这也足够充分的体现了晶片减薄工艺的重要性。
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立式减薄机IVG-200S设备规格
设备规格:
1)磨盘主轴系统
A) 类型:滚子轴承
B) 电机:AC 伺服电机(3.0kW)
C) 砂轮规格:Ф200mm
2) 工件盘主轴系统
A) 类型:滚子轴承
B) 电机:齿轮电机(0.75kW)
3) 进给系统
A) 类型:Combination of Ball Serve and LM Guide
B) 电机:微步进给电机
C) 控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback
4) 控制系统(PLC)
A) 制造商:Parker Hannifin Co.
B) 控制器:SX Indexer/Drive
C) 显示系统:EASON 900
5) 辅助设备
A) 电源:220V,50Hz,3相,5kW
B) 气压:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6Mpa)
C) 离心分离机:Sludge Free(SF100)(选配件)
D) 水箱容量:200L
E) 冷凝器:0.5kw
F) 过滤装置:20μm,10μm Cartridge Filter
6) 尺寸及重量
设备尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)
设备重量:1,400kg
减薄机设备组成
北京凯硕恒盛科技有限公司主营项目:双面研磨机,内圆磨床,外圆磨床,减薄机,轴承磨加设备,汽车零部件磨床,砂轮,刀具等。
减薄机本设备主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶体、蓝宝石、其他半导体材料等非金属和金属的脆硬性材料精密零件的高速减薄。由工件吸盘,吸盘主轴及驱动器组件,砂轮,砂轮主轴及驱动组件,丝杆导轨进给组件及其他辅助配件构成。
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