真空泵的选择规则
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
⑵了解被抽气体成分，气体中是否含有可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，普旭真空泵，如冷凝器、除尘器等。
⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，普旭真空泵RA0250D，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，普旭真空泵RA0160D，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，普旭真空泵RA0302D，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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普旭真空泵的工作原理：
普旭真空泵是按照叶片是原理工作的，圆的转子处于泵轴中心，电机通过弹性联轴器驱动真空泵轴。转子在圆形固定泵体内旋转，泵体中心线偏离转子轴线，直至转子与泵体内壁几乎形成线性接触。叶片沿着转子的叶片槽滑动，将泵体和转自之间的空间分隔成数个工作腔。随时有气体被吸入和排出，因此真空泵几乎无间断排气。
为了避免吸入固体颗粒，真空泵在进气处安装了进气滤网
为了避免关闭电源后，叶片逆向旋转，真空泵安装了止回阀
注意：此阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，而且关闭真空泵后，此阀不能用来防止油被吸入真空系统内。
如果真空泵配有气镇阀，少量空气通过气镇阀进入真空泵腔体内，连同工艺气体一起被压缩，这样，可防止真空泵内工艺气体中可凝气体成分的冷凝；如果气镇阀配有球阀，为了提高真空泵工作特性，在真空泵腔体出口处安装了排气阀。
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