润滑油在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，高温真空炉，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。襄阳市建恒电气有限公司
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，安徽真空炉，再经12小时抽真空，一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0）冷阱（水冷挡板）：置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
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