数转胶存档机
缩微胶片作为档案媒介，在长期安全保存档案信息上目前还没有能代替缩微胶片对档案进行长期保存的替代品。缩微胶片可以长久保存，且不受病毒、技术进步、设备更新换代和其它突变因素的影响。现在不仅纸张载体的信息要通过缩微技术来实现长久保存，为安全起见，对于有一定历史价值和学术价值的数字化文献资料、数据资料也可以通过数字存档机直接转换为缩微胶片进行安全保存。
匀胶机
旋转速度
转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。目前转速控制方面有国际认定标准，如美国NIST标准等。
真空吸附系统
真空泵一般采用无油泵，即通常说的干泵，因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，数转胶存档机多少钱，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况，还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制，当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。
匀胶机简单介绍
送片盒中的晶片，数转胶存档机，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动下旋转，转速100-9900转/分(±10转/分)，起动加速度可调。
每道程序的持续时间，数转胶存档机多少钱，转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可通过编程控制。
匀胶机有一个或多个滴胶系统，可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大，出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。
胶膜厚度一般在500-1000nm，同一晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种，并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边功能，去掉晶片正反面多余的光刻胶。
烘烤工位，有隧道式远红外加热，微波快速加热以及电阻加热的热板炉等。涂胶后的晶片要按一定的升温速率进行烘干。烘烤过程在密封的炉子中进行，通过抽真空排除挥发出来的***物质。前烘结束后，将晶片送入收片盒内。
主轴转速的稳定性和重复性是决定胶膜厚度均匀性和一致性的关键，起动加速度的大小是决定是否能将不同粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的决定因素。
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