三、精密机械加工厂内测百分尺
精密机械加工厂内测百分尺，是测量小尺寸内径和内侧面槽的宽度。其特点是容易找正内孔直径，测量方便。国产内测百分尺的读数值为0.01mm，半导体加工零件图，测量范围有5～30和25～50mm的两种，5～30mm的内测百分尺。内测百分尺的读数方法与外径百分尺相同，只是套筒上的刻线尺寸与外径百分尺相反，另外它的测量方向和读数方向也都与外径百分尺相反。
四、精密机械加工厂三爪内径千分尺
三爪内径千分尺，适用于测量中小直径的精密内孔，尤其适于测量深孔的直径。测量范围(mm)：6～8，8～10，10～12，11～14，14～17，17～20，20～25，25～30，半导体零件加工费用，30～35，35～40，40～50，50～60，60～70，70～80，80～90，90～100。三爪内径千分尺的零位，半导体零件加工批发，必须在标准孔内进行校对。
3、利用CNC加工中心的空运行功能
利用CNC加工中心的空运行功能可以检查走刀轨迹的正确性。当程序输入CNC加工中心后，可以装上刀具或工件，然后按下空运行按钮，此时主轴不转，工作台按程序轨迹自动运行，此时便可以发现刀具是否有可能与工件或夹具相碰。但是，在这种情况下必须要保证装有工件时，不能装刀具;装刀具时，就不能装工件，否则会发生碰撞。
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