POSIFA PVC3000 系列热电堆真空传感器

POSIFA  PVC3000 系列热电堆真空传感器PVC3001PVC3004

博思发科技公司的PVC3000系列MEMS 热电堆真空传感器提供了性的真空测量解决方案。通过这种方案，可以测量从1mTorr (0.13Pa)到—个标准大气压(760Torr,101KPa)的整个量程。很明显,皮拉尼真空度传感器的测量上限仅达到30Torr。一个压阻式压力传感器无法测量低于10Torr 的真空度。一个昂贵的电容式压力传感器的测量下限也仅有
0.1Torr.PVC3000系列传感器可以同时取代上述几种传感器。
此外，PVC3000拥有快响应时间(不2mSec)
和低功耗(典型值:45mW)的特点。通过休眠的手段，功耗还可以进—步降低。比如说，把休眠触发设置为10Hz，那么功耗可以降低到5mW。
PvC3000可以倍设计位差分结构，将一个传感器
暴露于真空当中(作为测量单元)，同时把另一个传感器放置于大气环境中(作为参考单元)。这样的差分结构可以实现自动内部温度补偿，以及排除其他可能造成传感器漂移的环境因素，以此达到良好的重复性和长期稳定性。
PVC3000采用了博思发的代热传导传感器芯
片(PTCD20)，利用气体的热传导率与该气体的真空度成正比的原理设计而成。
PVC3000系列传感器,现在向客户提供两种封装形式。PVC3001封装在T05的金属壳体中，PVC3004封装在T046的金属壳体中。
特点
量程:0.001~760托（0.13~101K 帕)响应时间:小于2毫秒
功耗:小于5mW (10Hz唤醒频率)
.利用差分结构实现自动内部温度补偿（依赖于实际应用电路)
可以浸泡于溶液中清洗,延长使用寿命应用