





真空涂层技术领域,特别是涉及一种真空涂层机.本实用新型真空涂层机包括阴极装置,阴极装置包括多个靶材.每个靶材可单独连接一个电弧发生器.本实用新型靶材体积比较小应用了多个电弧发生器,由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控制每个圆靶让其均匀挥发所以生产出来的涂层金属颗粒较方靶更小,从而使涂层结构更致密,涂层与被涂层工件结合力好.由于圆靶体积小靶材使用的数量比较多在工艺生产中可以使用不同材质的靶材进行复合涂层和多元化涂层的生产和开发,工艺可变性灵活性大.

涂层机用出料装置.所述涂层机用出料装置包括箱体与卡固架,所述箱体的一侧开设有进料口,所述箱体的顶部设置有翻转盖,所述进料口的相对两侧分别转动连接有封闭侧板,所述卡固架可拆卸地插设于两个所述封闭侧板上并卡扣于所述翻转盖上,以利用两个所述封闭侧板封闭所述进料口并固定所述翻转盖.所述涂层机用出料装置拆装较为方便.

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