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真空电阻炉石墨热场是什么样子的?
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热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。G7热场热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。G7热场
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