





探索了造成缺陷的形状和尺寸检测误差的原因,对涂层引起超散的物性参数也进行了反演。首先基于热弹机制原理,应用零差干涉仪检测了涂层影响下长宽尺寸的缺陷信号,构造了两种不同的模型对深度的尺寸进行检测,计算出缺陷深度的大小。其次对造成尺寸误差的原因进行了分析,发现涂层物性参数会引起超声衍射和色散而造成一定程度的尺寸检测误差。

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