气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)D 定片真空泵 S 升华泵X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵,H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
1.干式螺杆真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。2.液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。3.罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
喷射真空泵:它是利用文丘里效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:① 液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵:以蒸汽(水、油蒸汽)作为工作介质的饿喷射真空泵