全自动扫描电子显微镜是生产工艺中的关键设备
全自动扫描电子显微镜是一款全自动、无损显微分析系统,可针对几乎所有无机材料和部分有机材料,迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据,在业,全自动扫描电子显微镜可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化。在石油和行业,对钻井岩屑和岩心试样进行显微分析,从而降低风险并提高采收率。在煤炭行业,利用该系统自动分析煤、煤粉和煤燃烧产物,可以更好地了解煤燃烧和废物利用情况。
由于高能电子与物质的相互作用,天津不导电样品电镜测试,结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关,因此,通过接收和处理这些信息,就可以获得表征试样形貌的扫描电子像,或进行晶体学分析或成分分析。
在全自动扫描电子显微镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化,焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。
高分辨率台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异
这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压,而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。
与扫描电镜相比,透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上,而对于扫描电镜来说,限制在1-2百万倍之间。
然而,扫描电镜可以实现的视场(FOV)远大于透射电镜,用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样,扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。
电镜在功能材料中的应用扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品,通过光束合物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。如何简单快速地得到样品形貌信息,对功能材料的研发具有十分重要的意义。台式电镜具有以下优点:1.占地空间小,不需要配备太多额外设备,对放置楼层也无太多要求2.操作简单,也无需操作人员,学生也可快速上手操作3.速度快,15秒抽真空,30秒成像,短时间可以完成大量样品测试
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