天津高分辨透射电镜测试-天津9d实验室

扫描电镜的应用首先，扫描电镜应用是不是经常性的并且需求明确的？假如是这样，台式扫描电镜可以提供所需要的信息，为什么要花费更多？对于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该依据潜在需求的确定性以及时机，还有对更高要求使用的外部资源可用性来进行评估。 　　就算以后需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始***也能够继续提供回报，由于这种系统可以使用于补充以后的落地式扫描电镜系统，比方说筛选样品或者接着执行日常分析，落地式扫描电镜使用于要求非常高的应用。 　　建立大型分析测试中心的时候，扫描电镜能够起到承上启下的功用，前期可以满足大多数的测试需求，后面能够从外部应用者对于更性能需求以及成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

扫描电子显微镜的特征

改善图象反差的宽容度，还有图象各部分亮暗适当。选择双放大倍数设备以及图象选择器，能够在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。

　　其次，他能够进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪（WDX）或者能量色散X射线谱仪（EDX），让拥有电子探针的功能，还可以测试样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子以及俄歇电子等。将扫描电子显微镜扩大应用到各种显微的以微区的分析方式，显示出了扫描电子显微镜的多功能。除此之外，还能够在观察形貌图象的同时，对样品任选微区进行分析；装上半导体试样座附件，通过电动势象放大器能够直接观察晶体管或者集成电路中的PN结以及微观缺陷。因为不少扫描电子显微镜电子探针实现了电子计算机自动以及半自动操控，因此很大程度提升了定量分析的速度。

扫描电镜之电子探针的试样要求

具有较好的电导和热导性能

金属材料一般都有较好的导电和导热性能，而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累，造成电子束不稳定，图像模糊，并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高，往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。

电子束轰击试样时，只有0.5%左右的能量转变成X 射线， 其余能量大部份转换成热能，热能使试样轰击点温度升高，Castaing用如下公式表示温升△T(K):

式中V。(kV)为加速电压，i(μA)为探针电流，d(μm)为电子束直径，k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如，对于典型金属(k=1 时)，当V。＝20kV，d＝1μm，i＝1μA 时，△T＝96K。 对于热导差的典型晶体，k=0.1，典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料，如K=0.01， V0=30kV， i=0.1μA，天津高分辨透射电镜测试， d=1μm时， 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜，则ΔT减少到760K。因此， 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。