天津聚光镜透射电镜测试-天津市9d实验室(图)

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜对样品的要求

样品制备方法

　　1、块样

　　对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。

　　微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。

　　非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，天津聚光镜透射电镜测试，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

　　2、粉样

　　（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

　　（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。

扫描电子显微镜的原理

扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜还有光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要使用于各种材料的微观分析还有成分分析，已经成为材料科学、生命科学以及各生产部门品质控制中不可或缺的工具之一。

　　扫描电子显微镜的结构包含电子光学系统、图像显示与记录系统、真空系统还有X射线能谱分析系统。