扫描电镜广泛应用于许多学科领域
台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、***、成分分析,各种材料的形貌***观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,放大倍数可调等优点,因此广泛用于半导体,无机非金属材料和器件的检测。除了时间和费用外,它还对电子显微镜的操作者产生了束缚,是研究微观世界的重要工具之一。它为人们提供了研究纳米尺度物质结构的有力手段,已广泛应用于许多学科领域,例如材料科学和质量过程控制
扫描电镜之电子探针的试样要求
具有较好的电导和热导性能
金属材料一般都有较好的导电和导热性能,而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定,图像模糊,并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。
电子束轰击试样时,只有0.5%左右的能量转变成X 射线, 其余能量大部份转换成热能,热能使试样轰击点温度升高,Castaing用如下公式表示温升△T(K):
式中V。(kV)为加速电压,i(μA)为探针电流,d(μm)为电子束直径,k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如,对于典型金属(k=1 时),当V。=20kV,d=1μm,i=1μA 时,△T=96K。 对于热导差的典型晶体,k=0.1,典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料,如K=0.01, V0=30kV, i=0.1μA, d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜,则ΔT减少到760K。因此, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。
扫描电子显微镜能满足多数材料的显微观察
台式扫描电子显微镜与传统大型扫描电子显微镜相比具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势,显微镜分辨力能满足多数材料的显微观察。
电子显微镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的分辨率空白区域,可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物***、食品***、纺织纤维、地质科学等诸多领域,具有体积小,低厂务需求(无须冷却水,安装桌面小),更换样品快速,操作简单,维修容易,可安装客户定制分析软件等特点,同时各具特色,分别针对不同的应用需求。
电子显微镜具有传统显微镜20倍的分辨率,天津生物样品电镜测试,提供高分辨率成像,非常适合科研人员,工程师获取高质量的亚微米分辨率图像,这款台式扫描电子显微镜容易使用,用户接受培训10分钟即可***操作,适合材料科学,微电子等领域获取高分辨率图像。
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