启动时门打开净化气体，泵正常运行3min，阜阳真空泵，净化气体向各段通入，通净化气体对泵性能有影响。每当遇到紧急情况可按停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，无油真空泵，各级泵净化1min，真空泵厂，净化结束马达再停车，关闭惰性气体截止阀。对于双级泵，泵油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少泵油在高真空级中的放气量，以降低泵的极限压力。泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，泵的极限压力也越高。
而真空中，由于压强较低，气体分子，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，干式螺杆真空泵，将低于理论计算值几个数量级。
泵开始工作不久，出现低压力P"g。泵继续运转，由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降，入口压力稍有回升至Pg。Pg即是泵获得的稳定的低压力，亦是泵的极限压力。旋片泵的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，极限压力值比用热传导真空计（热偶计或皮氏计等）测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。
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