







一般洁净度较高的洁净室在车间内设有下层夹层苯,因此洁净室中含有颗粒的气流会通过活动地板和洁净室地板进入下层夹层。房间天花板上的过滤器会再次过滤掉干净稳定的气流,从而形成一个循环系统。这就使得洁净室的地板需要有足够的回风孔,这样洁净室的气流就会通过回风孔。清洁该区域。此外,还需要有足够的强度来承受加工机械的重量,防止微振动影响加工质量,所以获得了洁净室地板的特殊设计。目前高科技工厂洁净室的地板统称为格子梁地板。

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