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首先在器件和产品的设计中,应充分体现静电防护的思想,在器件内部设置静电防护元件(ESD Protection Device),尽量使用对静电不敏感的器件以及对所使用的静电放电敏感(ESDS, ESD-sensitive)器件提供适当的输入保护,使其更合理地避免ESD的伤害。MOS工艺是集成电路制造的主导技术, 以金属-氧化物-半导体场效应管为基本构造元件。由于MOS器件中场效应管的栅、源极之间是一层亚微米级的绝缘栅氧化层,故其输入阻抗通常大于1000M ,并且具有5pF左右的输入电容,极易受到静电的损害。因此,在MOS器件的输入级中均设置了电阻-二极管防护网络,串联电阻能够限制尖峰电流, 二极管则能限制瞬间的尖峰电压。器件内常见的防护元件还有:电容、双极晶体管、可控硅整流器(SCR,见图1)等, ESD发生时,它们在受保护器件之前迅速作出反应,将ESD的能量吸收、释放,使被保护器件所受冲击大为降低。正常情况下,防护元件在其一次崩溃(First Breakdown)区内工作,不会受到ESD损伤,一旦外加电压或电流过量(Overstress),进入二次崩溃(Secondary Breakdown)区的防护元件将受到不可逆转的损害,失去对器件的保护作用。
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若在分离的过程中电荷难以中和,电荷就会积累使物体带上静电。所以物体与其它物体接触后分离就会带上静电。通常在从一个物体上剥离一张塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起电,在日常生活中衣服产生的静电也是“接触分离”起电。固体、液体甚至气体都会因接触分离而带上静电。这是因为气体也是由分子、原子组成,当空气流动时分子、原子也会发生“接触分离”而起电。我们都知道摩擦起电而很少听说接触起电。实质上摩擦起电是一种接触又分离的造成正负电荷不平衡的过程。摩擦是一个不断接触与分离的过程。因此摩擦起电实质上是接触分离起电。在日常生活,各类物体都可能由于移动或摩擦而产生静电。另一种常见的起电是感应起电。当带电物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电。
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人类对电的认识是从静电开始的。对静电现象的发现和认识,和西方一样,我国也是很早的。西汉末年的《春秋纬·考异邮》中就有“瑁吸芥”的记载。王充的《论衡·乱龙篇》中有进一步的记载:“顿牟掇芥,磁石引针,皆以其真是,不假他类。他类肖似,不能掇取者,何也?气性异殊,不能相感动也。”[1] 意思是在说,经过摩擦了的瑁(琥珀)能吸引芥籽,磁石能吸引钢针,这是因为它们之间的“气性”相同,能相互感动;其他看起来与芥籽、钢针相似的东西,但因与瑁、磁石的“气性”不同,所以不能相互感动。东晋的《山海经图赞》中,也有类似的记载,即“慈石吸铁,瑁取芥,气有潜感,数有冥会。”也把静电和静磁并列,同时认为是某种“数”在起作用。
