真空除气储存柜主要参数
1、炉型结构：卧式与立式，单室与双室或多室，硅片除气装置生产厂家，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、极限温度：1500℃
3、工作区尺寸：按照用户需求定制
4、设备总功率：20-100 KW（含加热系统、真空机组、制冷机）
5、电源频率：50Hz
6、电源电压：三相380 V（±10V）
真空除气储存柜设备简介
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可***工作。具备以下主要功能：
1. 对储存箱室抽真空；
2. 控制储存箱室恒压稳定；
3. 具备加热烘烤功能；
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
6. 具备自动和手动两种操作模式；
7. PLC控制，触摸屏操作
真空除气储存柜的技术参数
1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm；
2. 极限真空度：2×10-5Pa；
3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；
4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；
5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，硅片除气装置价格，透光好；
6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，河北硅片除气装置，可手动***控制工作；
7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。
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