常见废气处理设备部件：1、燃烧设备燃烧装置是废气处理设备的设备，起着至关重要的目的;主要是利用燃烧反应，对废气和空气燃烧，化工厂废气处理设备，把废气分解成二氧化碳、水或固体氧化物等，来达成vocs废气处理问题。2，收集装置收集装置是构成循环系统的一部分，将vocs废气收集、检测等工作;减少废气中粉尘，防止粉尘堵塞吸附设备。步是将vocs废气收集排入至废气处理设备内部进行燃烧处理，在废气进入燃烧室时，会进行废气检测;将不溶解的vocs废气，从设备的顶部排出去。
催化燃烧阶段溶剂经风机送入到催化燃烧室前的换热器，然后进入催化燃烧室中的预热器，在电加热器的作用下，使气体温度提高到250-300℃左右，再进入催化燃烧床，有机物质在催化剂的作用下无焰燃烧，被分解为CO2和H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部提高，该高温气体再次经过换热器预热未经处理的有机气体，回收一部分热量。从换热器出来的气体再通过新风入口的换热器对脱附新鲜空气进行加热，经过换热后的气体通过烟囱引高排放。
当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
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