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用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。具有结构紧凑，体积小，重量轻，德国贝克BECKER旋片泵，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
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螺杆泵和其它容积泵一样，当泵的排出口完全封闭时，德国贝克BECKER旋片泵，泵内的压力就会上升到使泵损坏或使电动机过载的***程度。所以，在泵的吸排口处，就必须设置安全阀。螺杆泵的轴封，通常采用机械轴封，并可根据工作压力的高低采取不同的形式。 [4]
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根据对市场需求的调研，我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为Imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3MaP，小控制压力为0.IMaP:(4)压力精度小于1%;(5)0一IMaP调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
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