真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，丁基橡胶手套公司，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱的维护和***
1.手套箱每日维护***：
? 检查手套有无损坏以及是否安装牢固，手套孔是否有松动。如果手套有破损或漏气现象请及时更换，如果手套或手套孔有松动或安装不牢固，请重新安装牢固。
? 检查手套箱系统的外观和箱体内部是否有杂物或积液，不清洁的手套箱能导致系统堵塞造成系统工作效率降低或损坏。
? 检查手套箱系统的各个装置、密封件、气体接口和管道，要保证密封良好、连接牢固无泄漏。
2.手套箱每周维护***：? 检查真空泵，在需要时更换真空泵油，这可以保证真空泵的工作性能并有效延长使用寿命。
3.手套箱每月维护***：? 更换真空泵油(如果真空泵油已经不干净)。
? 检查过渡舱密封胶圈，如果损坏请更换。
? 更换过滤器、溶剂吸附器和附加有机1溶剂吸附系统的材料。
? 给净化系统补充冷却水。
? 开启“手动检测”，检测是否有部件不工作或不正常运行。
4.手套箱每年维护***：? 检查气体净化系统是否能正常的净化气体(如果气体净化系统已经不能正常净化气体或者不能保持低含量的水、氧值)请更换气体净化系统的净化柱；
? 更换真空泵油；
? 检查水、氧、压力传感器是否失效或有误差；
? 检查手套箱系统安全性能。
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手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）
4、检查设定里的上限压力应为+1，下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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上海丁基橡胶手套公司-艾明坷由艾明坷科技（北京）有限公司提供。艾明坷科技（北京）有限公司为客户提供“手套箱,溶剂净化”等业务，公司拥有“艾明坷”等品牌，专注于工业自动控制系统及装备等行业。，在北京市通州区宋庄镇丁各庄环村北路2-1号的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：张女士。
