




真空除气储存柜主要参数
1、炉型结构:卧式与立式,单室与双室或多室,硅片除气装置生产厂家,炉体炉门采用双层水冷,天津硅片除气装置,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、极限温度:1500℃
3、工作区尺寸:按照用户需求定制
4、设备总功率:20-100 KW(含加热系统、真空机组、制冷机)
5、电源频率:50Hz
6、电源电压:三相380 V(±10V)
真空除气炉、真空存储柜的使用环境
使用环境
① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;
② 电源:380 V±38 V,硅片除气装置多少钱,50 Hz±0.5 Hz,硅片除气装置价格,约15KW(外部电源用户自备);
③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;
④ 环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
⑤ 相对湿度: 20%-85%;
⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。
真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现
一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
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