




大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),高纯供气生产厂家,100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的***规模巨大,采用1***的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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高纯供气系统
本公司生产的RZ-YA-D系列全自动气纯化装置功能说明:
A、具有全自动功能,使用操作简单,开、停机只需按两个按钮,不需扭动任何阀门,这些工作都由PLC程序自动进行;这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯,因此纯气质量也更加稳定。
B、控制文本显示器采用合资品牌-***通泰7吋液晶触摸屏,实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示,并随时可以实现各参数的修正,极大的方便工作人员的操作。
C、可根据用户需要配备在线分析仪,时时在线监测。

实验室气体的***性
1.有部分气体具***、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对***或设备都具有致命性的伤害。
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