




真空除气炉的构成介绍
真空测量装置:采用复合真空计,真空储存柜哪家好,使测量更加准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,真空储存柜多少钱,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
高真空除气炉的特点
科创鼎新公司生产的高真空除气炉,真空度可高达10-7Pa,可用于半导体硅片的除气以及红外芯片、气密性封装、航空航天芯片等其他电子产品的封装。
高真空除气炉特点:
① 极限真空度高;
② 控温精度高;
③ 更高的升温速率;
④ 更加智能化;
⑤ 可真空去除产品空洞与气泡;
⑥ 降低产品的氧化性;
⑦ 提高工艺室的洁净度。
真空除气储存柜的技术参数
1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm;
2. 极限真空度:2×10-5Pa;
3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;
4. 整体结构型式:泵箱一体,真空储存柜厂家,三个腔室;
5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;
6. 控制方式:一室一泵配置,天津真空储存柜,自动保持真空,可手动***控制工作;
7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。
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