有机废气处理的氧化法分为两种方法：a) 催化氧化法。现阶段，催化氧化法使用的催化剂有两种，即贵l金属催化剂和非贵l金属催化剂。贵l金属催化剂主要包括Pt、Pd等，它们以细颗粒形式依附在催化剂载体上，而催化剂载体通常是金属或陶瓷蜂窝，或散装填料;非贵l金属催化剂主要是由过渡元素金属氧化物，比如MnO2，与粘合剂经过一定比例混合，然后制成的催化剂。为有效防止催化剂中l毒后丧失催化活性，在处理前必须彻l底清除可使催化剂中l毒的物质，溶剂回收技术，比如Pb、Zn和Hg等。如果有机废气中的催化剂毒物、遮盖质无法清除，则不可使用这种催化氧化法处理VOC;b) 热氧化法。热氧化法当前分为三种：热力燃烧式、间壁式、蓄热式。三种方法的主要区别在于热量回收方式。这三种方法均能催化法结合，降低化学反应的反应温度。
专l业有机废气催化燃烧成套设备性能特点：1、吸附效率很高，能力强；2、能够同时处理多种混合有机废气；3、设备构造紧凑，占地面积小，维护管理简单，运转成本低廉；4、采用自动化控制运转设计，操作简易、安全；5、全密闭型，室内外皆可使用。
RCO处理技术注意事项为低温状态下，大量的有机物进入催化床，造成催化剂“闷死”，导致暂时失活；含硫、磷、卤素化合物、***化合物会与活性成分反应，导致催化剂长久失活；灰尘、积炭、高沸粘性物附着于催化剂表面，覆盖催化剂活性位点，导致催化作用丧失；高温会使催化剂载体及活性成分团聚或烧结，造成活性位数量大幅减少或失活。
RTO，是指蓄热式热氧化技术，英文名为“Regenerative Thermal Oxidizer”。RTO蓄热式热氧化回收热量采用一种新的非稳态热传递方式，原理是把有机废气加热到760℃以上使废气中的VOC氧化分解成CO2和H2O。氧化产生的高温气体流经陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此蓄热用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。RTO技术适用于处理中低浓度（100-3500mg/m3）废气，分解效率为95%-99%。
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