真空除气储存柜主要参数
1、炉型结构：卧式与立式，单室与双室或多室，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、极限温度：1500℃
3、工作区尺寸：按照用户需求定制
4、设备总功率：20-100 KW（含加热系统、真空机组、制冷机）
5、电源频率：50Hz
6、电源电压：三相380 V（±10V）
真空除气储存柜的加热系统
1、加热区尺寸：定制
2、加热功率：30-80 KW（实际功率可调）
3、加热元件：钼片
4、隔热组件：钼+不锈钢
5、温度测量：S型热电偶
6、控温精度：±1℃
7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min（空载）
8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，北京硅片除气装置，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。
9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。
真空除气储存柜
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，硅片除气装置厂家，均可***工作。
加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，硅片除气装置哪家好，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。
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