




真空除气储存柜的技术参数
1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm;
2. 极限真空度:2×10-5Pa;
3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;
4. 整体结构型式:泵箱一体,真空除气炉公司,三个腔室;
5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,真空除气炉品牌,透光好;
6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,真空除气炉,可手动***控制工作;
7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,真空除气炉哪家好,并停止设备运行的功能。
真空除气储存柜设备用途
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理;X射线管高真空除气。
真空除气储存柜主要参数
1、炉型结构:卧式与立式,单室与双室或多室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、极限温度:1500℃
3、工作区尺寸:按照用户需求定制
4、设备总功率:20-100 KW(含加热系统、真空机组、制冷机)
5、电源频率:50Hz
6、电源电压:三相380 V(±10V)
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