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半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并***其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到***或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

检漏设备在检测时需要留意的事项

检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，空调蒸发器氦质谱检漏仪哪家好，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气扫除洁净之后，北京氦质谱检漏仪哪家好，其实也便是要撤除被测物。

否则的话，检漏设备的残留压力可能会形成财产损失或者是会使人受伤；检漏设备长期不必的时分，为了安全起见，必定要把主电源或者是空压源进行堵截。其电源电缆以及其配线和配管破损的时分，充气柜氦质谱检漏仪哪家好，其实也便是要留意当即堵截咱们的主电源与空压源，这样其实也便是要替换它的新配件。

氦检漏设备

真空法氦质谱检漏：

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，冷凝器氦质谱检漏仪哪家好，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。