科创真空(图)-国产氦质谱检漏仪价格-天津氦质谱检漏仪价格

检漏仪的故障和处理

1 内部的泄漏

当检漏仪内部存在泄漏时，天津氦质谱检漏仪价格，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。

2 本底信号不稳定

1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。

2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，国产氦质谱检漏仪价格，检漏仪应有可靠的接地。

3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。

氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准

氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，国产氦质谱检漏仪价格，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

氦质谱检漏仪的准确性

一，标准漏孔的自身要符合相关的质量要求。标准漏孔能自带第三方的检测证书。例如，美国***计量院NIST；中国***计量院，或有资质的检定机构；德国的DKD等。标准漏孔要通过有标准漏孔检定资质的第三方，进行检定。以此来保证标准漏孔本身没有问题。

二，真空氦质谱检漏仪价格，标准漏孔要经常检定、校准。建议每年进行一次校准。尤其是年泄漏率大的标准漏孔，更是要注意，经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。