目前，我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准(GB/T 11446)，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。制备超纯水的办法一般选用反渗透设备，去离子或电去离子(EDI)等工艺。在水质要求达10MΩ.cm以上，一般选用不同的工艺进行组合调配的办法来制取，例如选用反渗透加去离子，反渗透加EDI等。
为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量;在工艺设计上，取达***自来水标准的水为源水，经过预处理系统、反渗透系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)等系统，根据不同用户对纯水的要求不一，以排列组合的方式，生产出一套套量身订制的纯水处理设备。
超滤EDI高纯水设备的操作过程:淡水进入水室后，淡水离子与离子交换混床树脂，因此从水，由电离子交换的吸引力，阳离子通过阳离子交换膜阴极迁移，迁移的阴离子通过阴离子交换膜阳极，和浓水室和淡水移除。与阳离子离子进入浓水室，不是通过离子交换膜，所以它将被困在浓水室，同时，离子不能通过阳离子交换膜，困在浓水室，制***水设备，这样的阴阳离子将与冲水模块，与此同时，由于水中的离子不断被移走，纯水处理 所以淡水的纯度将继续提高，以模块的方式，其纯度可以接近水平度的理论。
污水、废水的回收利用 一些西方***曾经利用一些方法处理污水，但是处理之后的效果不佳，没有从根本上进行的处理。此外，超滤设备其价格比较低为废水回收再利用提供了有力的条件。其实，从城市污水处理厂和工场中排出的废水经过处理之后完全可以再利用，然而此类做法在西方用户那里难以得到信赖。纯水设备曾经将污水处理厂的出水采用膜技巧回用为饮用水。
地表水处理 超滤设备大多数是利用在地表水处理之上的，处理后的水用于浇灌或作为反渗透的进水，来制备工业用水。这类工厂在荷兰等地的数量逐步上升。这种技巧供给了不用在购置越来越贵的饮用水就能就近取用地表水。
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