




高纯供气系统
保证气体纯度。通过大型的储罐( 液压) 和输送管道将载气输送给仪器,在储罐出口安装有单向阀,可避免更换储罐时空气或水分混入,另外,还可在高压段之后安装有泄压开关球阀,高纯供气,将多余的空气或水分排放,从而保证气体的纯度。
安全性提高。一般瓶装气体的充气压力大于或等于 14MPa/cm2,集中供气可根据需要降低系统压力,而且远离实验区域,提高了使用的安全性。另外,集中供气可将空气压缩机安放在供气室内,减少压缩机产生电火花带来的安全隐患,并可避免噪音对实验室的干扰。

高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,高纯供气报价,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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实验室气体管道设计要求
了解实验室设计的都知道:实验室的任何的设计都是有规格要求的,出了这个要求的范围那么实验室的设计就有漏洞,就不合格,就容易发生事故。实验室的气体的排放是非常重要的,如果说实验室气体管道设计不合理,工作人员就容易出事,甚至严重的就会有生命***。
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