




因此,电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高,氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气,置入封闭容器中,将封闭容器与氢质谱检漏仪连通,待氦质谱检漏仪指示可检时,汽车行业检漏设备,被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室,氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法,将被检件装在氦质谱检漏仪上,对被检件抽真空,当达到检漏仪的开检压力后,对被检件漏点处喷氦气,氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室,氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率
氦质谱检漏主要领域:冶金——真空电炉;低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;氦质谱检漏主要领域:原子能工业——气体扩散处理系统;高能物理研究院——及其配件;
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
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