漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求：能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，电力行业检漏厂，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待氦质谱检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法，将被检件装在氦质谱检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率
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