




真空镀膜系统
真空度相对来说比较稳定,但是也会受到一些因素的影响,真空镀膜,比如大气压,但是安装真空泵过滤器是不会对真空度产生影响。
关键对镀膜加工工艺的危害,不管哪些镀膜方法,真空度越高亦意味着炉内含有的杂气分子越少,那样镀膜膜层成份就更趋于你要想的占比,简易的说便是纯净度及结晶体情况更具精密性。
另外,针对镀膜而言,都有加温这一基本步骤,较高的真空度能够避免板材表层空气氧化或渗氮,对结合性有非常大的协助。
真空镀膜工艺对真空泵的要求较高,同时,对真空泵过滤器也具有较高要求,因此推动真空泵过滤器的发展进步。

真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,真空镀膜哪里有,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,1好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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真空镀膜系统
工艺气体输入系统
工艺气体,如气(Ar)、气(Kr)、氮气(N2)、(C2H2)、(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等,一般均由气瓶供应,经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀,然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是,管路简捷、明快,真空镀膜价格,维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况,这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是,减少气瓶占用量,统一规划、统一布局。缺点是,由于接头增多,真空镀膜系统,使漏气机会增加。而且,各涂层机之间会互相干扰,一台涂层机的管路漏气,有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外,更换气瓶时,必须保证所有机台都处于非用气状态。

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