制***水系统除控制化学指标及微粒污染外，去离子水系统厂家，必须有效地处理和控制微生物及***内的污染。纯化水系统可采用反渗透，而水系统则更多地使用蒸馏法，去离子水设备公司，蒸馏水机往往是纯化水系统分配循环回路（用水回路）中的主要用水点。国内水均采用蒸馏法，这当然与国内反渗透器的质量现状有关。应当指出，不同的蒸馏水机对源水要求不同，不同型号的蒸馏水机，去离子水设备厂家，由于性能上的差异，它们可以分别以纯化水、去离子水、深度软水为源水，制备得到符合标准的水。另一方面，以符合饮用水标准的水为源水来制备纯化水，或以符合标准的纯化水来制备水，去离子水设备，并不一定能保证出水达到规定的标准，这与所选用设备的性能相关。还应当指出，源水的水质必须监控，取水点应尽可能避开污染源。
超纯水设备的工艺流程为：
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)。
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(工艺)。
3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(工艺)。
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(工艺)。
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)。
贮罐及其选用
制***水系统中，纯化水的贮存和水的贮存具有相似的要求和微生物控制标准。贮罐设计的理念极其相似，在制***水贮罐设计的标准中，影响确定贮罐的类型和容量以及微生物控制方法和主要因素是用户的水质要求和用水量负荷高峰与低谷的分布情况，贮罐需要的数量、使用周期和时间。贮罐的设计是为了确保预处理和终处理水供应之间的平衡，以及系统是否需要再循环。
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