氦质谱检漏仪主要部件---真空泵的概述与分类
真空泵(vacuum pump)
利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
W型往复式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，真空氦质谱检漏仪厂家，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，小型氦质谱检漏仪厂家，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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氦质谱检漏的成本控制
氦质谱检漏相对于其他的检漏方法，因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法，使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。
检漏口真空度的控制
根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求，检漏口真空度一般要求为：1.33Pa。
在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的，河北氦质谱检漏仪厂家，按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求，根据大量的检测经验，将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性，但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。
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