真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀.蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。真空镀膜是在真空中将钛、金、石墨、水晶等金属或非金属、气体等材料利用溅射、蒸发或离子镀等技术，在基材上形成薄膜的一种表面处理过程。
真空镀膜加工均匀性的概念：
1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，真空镀膜加工均匀性。
2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，薄膜，如果镀膜过程不科学，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜加工的技术含量所在。
3.晶格有序度的均匀性
真空镀膜就是于真空室内，采用一定方法使材料凝聚成膜的工艺。在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，化学气相沉积，称为真空镀膜。
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。 广义的真空镀膜还包括在属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。
真空镀膜过程其工艺之多非常复杂，真空镀膜加工原理有不同可分很多种类，化学气相沉积加工，对于不同原理的真空镀膜加工，化学气相沉积价格，影响均匀性的因素也不尽相同。
真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。真空镀膜技术一般分为两大类，即物***相堆积技术和化学气相堆积技术。
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