L5000气相沉积设备-拉奇纳米镀膜-气相沉积设备

真空镀膜机日常维护***

1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意***皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵（滑阀泵，气相沉积设备，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，L5000气相沉积设备，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，LH320气相沉积设备，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜机如何选型选用真空泵时，需要注意下列事项：

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度， 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

真空镀膜是在原子水平上进行材料生成的技术，镀层的晶料度在10纳米左右，属于纳米材料的范畴。通过对壳内壁真空镀电磁防护膜层，可以极大地防止因电磁波辐射而对手机使用者造成的危害。真空镀膜技术的研究”，主要解决的是镀膜的工艺问题，包括电阻率、附着力、高温性、膜层表面光亮度以及复杂区域的膜层附着问题。根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。