LH320气相沉积设备-东莞气相沉积设备-拉奇纳米(查看)

真空镀膜机的原理

真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，LH320气相沉积设备，大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。

辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。

真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。用饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意***皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

镀制效果有：普通电镀亮面、哑面（半哑、全哑）、工艺电镀、拉丝、雨滴、七彩等；镀制颜色有：金、银、红、蓝、绿、紫、七彩等等。

真空镀膜机日常维护***

1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意***皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，气相沉积设备制造商，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，东莞气相沉积设备，放掉旧油，再将泵启动数秒，L5000气相沉积设备，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。