9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG***。负胶,98%H2SO4+H2O2+胶=CO+CO2+H2O,正胶:BIN酮,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2+胶=CO+CO2+H2O,等离子去胶Oxygenpla***a ashing,NR9 3000P光刻胶,高频电场O2---电离O- + O+, O+活性基与胶反应CO2,NR9 3000P光刻胶哪家好,CO, H2O, 光刻检验
光刻胶
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,NR9 3000P光刻胶公司,此款负胶的设计适用于比较宽的波长范围和i线(366纳米)***工具。当显影后NR9-3000PY显示出负的侧壁角度,是lift-off工艺中比较简易的光刻胶。和其他胶相比NR9i-3000PY有下面的优势:
光刻胶底膜处理:清洗:清洁干燥,NR9 3000P光刻胶厂家,使硅片与光刻胶良好的接触。烘干:去除衬底表面的水汽,使其干燥,增粘处理(涂底): 涂上增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物,HMDS,光刻胶疏水,Sio2 空气中,Si-OH, 表面有,亲水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 与 SI –OH结合形成Si-O-Si(CH2)2,与光刻胶相亲。
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