当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，工业废气处理设备，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
活性炭脱附阶段，当吸附床吸附饱和后，切换脱附风阀和吸附风阀，启动脱附风机对该吸附床脱附。脱附新鲜空气首先经过新风入口的换热器和电加热室进行加热，将新空气加热到120℃左右进入活性炭床，炭床受热后，活性炭吸附的溶剂挥发出来。活性炭吸附阶段。经过前面的预处理后，废气通入后端的活性炭吸附/脱附塔进行吸附处理，通过活性炭微孔的有机气体吸附在活性炭表面，去除废气中的有机物，达到净化气体的作用。
废气uv光氧催化设备主要是利用高能高臭氧UV紫外线光束作为催化反应条件来进行有机废气处理，而应用于工业有机废气处理中的紫外线波长为154-254nm，波长越短能量越大。在这个波长区域中，由于154-185nm的波长相对较短所以有机废气处理反应的空间范围也较小，而184-254nm尽管能量较小，但波长长有机废气处理的空间范围相对较大。
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