山西仁荷微电子科技-半导体质量流量控制器报价

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气体质量流量控制器选择应该注意什么：

1、量程

在流量控制器选择中，测量或者控制的量程指标非常重要，主要体现在被测气体的实际量程范围与流量控制器的控制范围之间的匹配选择上。如某客户想用一个10SLPM的气体流量控制器来控制8SLPM和10SCCM的流量，显然是无法用一台流量控制器来做到的。

2、压力

压力对流量计的工作至关重要，所有流量计必须工作在订货压力参数范围内，这个是厂家承诺的工作范围，超过或低于这个压力范围的应用，厂家是不保障可靠工作的。

在确认压力参数时，需要确认流量控制器的入口压力范围、出口压力范围，另外是否有出口背压等，这些参数是流量控制器生产的重要参考依据。另外在使用时，需要确保压力稳定，如果压力不够稳定，需要考虑增加稳压措施，以获得更好的流量控制性能。

另外，流量控制器的耐压也是重要的选型参数，请注意耐压和工作压力是完全不同的概念，流量控制器的耐压是流量控制器可以承受却不会导致损坏的压力参数，但再此压力下，不一定能正常的进行流量控制。这个在订货时需要特别注意。

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半导体质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。 　　

质量流量计是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器（MFC）中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，辽宁半导体质量流量控制器，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。 　　

半导体质量流量控制器检查出现偏差方法： 　　

1、零点是否有漂移，首先需接通电源，半导体质量流量控制器报价，质量流量控制器信号为0的情况下，则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号； 　　

2、气体是否纯净，如果盘路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫，如果还是不能解决则需要找维修点接受A／S； 　　

3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力，如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。

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半导体质量流量控制器的优点如下:

A、以其具有测量通道是一段无阻流检测件的光滑直管，不易阻塞而适用于测量含有固体颗粒或纤维的液固二相流体；

B、同时电磁流量计不产生因检测流量所形成的压力损失，仪表的阻力仅是同一长度管道的沿程阻力，节能，对于要求低阻力损失的大管径供水管道是为适合；

C、电磁流量计所测得的体积流量，实际上不受流体密度、粘度、温度、压力和电导率（只要在某阀值以上）的变化影响不明显；

D、与其它大部分流量仪表相比，前置直管段要求较低；

E、电磁流量计测量范围度大，通常为20：1~50：1，可选流量范围宽；

F、电磁流量计的口径范围比其它品种流量仪表宽，从几毫米到3米；

G、可测量正反双向流量，半导体质量流量控制器选型，也可测脉动流量，只要脉动频率低于激磁频率很多；

H、仪表输出本质上是线性的；

I、易于选择与流体接触件的材料品种，可应用于腐蚀性流体等优点。

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