喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，高压开关柜检漏，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生，需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。
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